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| 寸法 | W230mm × D370mm × H480mm |
|---|---|
| 重量 | 13kg |
| 定格電圧 | AC100V 50/60Hz (海外仕様もございます) |
| 設置環境 | 温度15～35℃ 湿度0～80％ |
| 消費電力 | 140W |
| タンク容量 | 2.5L |
| 純度 | 99.999+% |
| 流量 | 250cc/min |
| 最大供給圧力 | 700Kpa |
| 使用時間 | 24H |
| メンテナンス | 1年経過時にフラッシング、フィルター交換 |
| 耐用年数 | 500,000時間で電極交換 8h/day使用で17年間利用可能 |
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